博捷芯：晶圆划片机操作安全注意事项

[{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"失效分析 赵工"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"#576b95"},"insert":"半导体元器件失效分析可靠性测试"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"2022-11-08 09:54"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"发表于北京"},{"insert":"\n\n"},{"attributes":{"size":"small"},"insert":"晶圆精密划片机是一种综合了电力、压缩空气、冷却水、气浮高速主轴、精密机械传动、 传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。在安装、调试、使用、保养、维修等操作之 前，必须确认下列安全信息、操作规程以及注意事项。"},{"attributes":{"align":"justify","header":1},"insert":"\n"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"一、设备的安装与调试"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"1、划片机的四周必须保留不小于 0.5米 的无障碍空间，方便操作及维修人员 进行生产操作、保养和检修。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"2、划片机应安装在无明显震动、无腐蚀性气体、无强磁场的清洁室内。工作间 温度在 20～25℃之间且保持恒定；相对湿度＜60%，无凝结。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"3、 划片机附近应设有进气管路，接口位置与设备安置地点间的距离不超过 2 米，接口φ12；使用的压缩空气应当洁净无油无水，压力稳定且不小于 0.5MPa，流量不小于 400L/min。空气管路必须牢固可靠，若管路爆裂或漏 气，将引起主轴卡死或损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"4、划片机附近应设有两路进水管路，接口位置与设备安置地点间的距离不超过 2 米，切割水冷却水接口φ12，主轴冷却水接口φ12。冷却水的水质要求洁 净无杂质，压力稳定≥ 0.3MPa，流量≥ 4.5L/min。若划片工艺要求使用纯 水，请自行准备。设备工作时必须用水，若出现停水情况，将造成刀片及工件 损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"5、划片机附近应设有废水排放管路，接口高度不超过 0.5米，接口直径 φ50mm。下水管路必须畅通，管路堵塞将导致切割水槽满溢，可能造成机械 机构锈蚀和电气部件短路。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"6、划片机附近应设有水雾吸排管路，接口直径φ76mm。划片工作过程中会产生 水气水雾，需要及时排出，以防止设备内部湿度过大，造成机械结构锈蚀及 电气部件短路。如配有 NCS 等特定部件，则排雾应满足指标方能保证功能 正常使用。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"7、划片机所在工作间应配备工作台，便于贴膜，更换刀片，存放备品备件和各 种工具。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"8、划片机内部采用精密的机械和电气部件，当打开外部围板，需要在内部进行 操作时，请注意人身和设备安全。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"9、划片机重量和体积较大，搬运时请注意人身安全，避免挤伤夹伤。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"10、 在未拆除全部运输固定件之前，严禁接通电源。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"11、设备供电需求三相 AC220V±10%或三相 AC380V±10%，请配置 D 型空 气开关，若电压不稳应配备稳压电源，功率不低于 5.0kW。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"12、供电电源的火线和零线严禁接反，否则将可能造成人员触电事故。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"13、设备所在工作间应有妥善的接地端子或电极，设备必须良好接地，否 则将可能造成人员触电事故。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"insert":"二、设备的使用与保养"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"1、开机前，先打开气源，确保设备进气气压达到 0.5～0.6MPa，然后再 打开水路和设备电源。划片工作进行中避免使用气枪，注意气压波动。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"2、 每次开机时，都要完成初始化。如果首次初始化未完成，则在正常工 作前务必先正确完成初始化，再进行其它操作。否则划片机将不能正 常工作，可能造成机械或电气部件的损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"3、划片机空闲或者无人看管划片机时，应当停止主轴，不得使主轴长时 间空转。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"4、 划片工作时，应注意划片机有无异常情况发生（例如漏水），发现后 要及时停机，作相应处理。否则可能造成更大的故障损失。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"5、主轴高速旋转时，严禁用手或使用任何物体接触主轴旋转部分，否则 将造成严重的人身伤害，同时可能引起刀盘、刀片或主轴损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"6、划片机正常运行时，禁止用手接触运行中的工作台，禁止将手探入显 微镜物镜下方，否则在运动过程中将可能造成手部挤伤。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"7、划片机正常运行时，禁止触摸或使用工具触碰所有运动中的机械部 件，否则将可能挤伤手部，或造成机械部件损坏或精度降低。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"8、划片机必须按照保养要求，认真全面的完成保养维护工作，否则将导 致机械部件磨损加快，致使精度降低，故障率升高。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"9、关机并切断电源后再次开机必须间隔 3 分钟以上，否则将可能造成电 气部件的寿命缩短或损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"10、在关机并切断电源 5 分钟后，方可进行电气部件的拆装以及检修保养 操作，否则可能造成人员触电或电气部件短路损毁。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"11、划片机通电工作时，严禁用手或任何工具触碰设备内部的电路接头和 接线端子，否则将可能造成人员触电或电气部件短路损毁。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":{"image":"https://community-1252773949.cos.ap-guangzhou.myqcloud.com/2033/4b72fd84340280c4.jpg"}},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"insert":"三、设备的检查与维修"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"1、各种维修工作请依照相关说明内容进行，不得擅自拆解电气部件，不得擅自拆卸丝杠和导轨等精密机械传动部件。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"2、所有维修中使用的机械部件必须采用本公司指定或者认可的部件，否 则将可能造成设备精度降低或者损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"3、 维修后不要把工具等遗忘在设备中。注意检查并清除设备运动部件附 近的杂物，以免卡住造成相关机械或电气部件损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"4、在关机并切断电源 5 分钟后，方可进行检修操作，如果拆下了电气部 件，必须妥善处理脱离固定的各种接头，在按正确方式装上该部件之 前严禁通电，否则可能造成人员触电或电气部件短路损毁。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"5、所有维修中使用的电气部件必须采用本公司指定或者认可的部件，否 则将可能造成设备精度降低或者损坏。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"6、在确实需要带电进行检修时，必须按规程进行各种操作。注意安全， 防止触电。遇不明状况，请致电本公司联系。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"来源：博捷芯划片机"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"\n"}]