基本信息
仪器类型
探针台
品牌
硅科锐达/Sirada
产品类别
手动
产品系列
-
仪器型号
MPS200T
技术指标
辅助Chuck
无
Chuck XY行程
230 ㎜*270 ㎜
Chuck移动精度、分辨率
±1 um
Chuck一键式快速移动
支持
针座数量
3直流+2 RF
重量
200 kg
Chuck类型
镀镍，微孔
尺寸
735 ㎜×545 ㎜×780 ㎜
显微镜
单筒0.6~5.0x，1：8.3，1080p，LED点光源
显微镜快速升降
支持
显微镜三轴行程
150 ㎜×50 ㎜
射频针座
千分尺，可调角度
直流针座
千分尺
重复精度
整体升降
支持，最大30 mm
Chuck漏电流
100 fA
Chuckθ行程
粗调360°，精调±5°
Chuck Z行程
6 ㎜