基本信息
仪器类型
探针台
品牌
成都云绎智创/AATSR
产品类别
手动
产品系列
-
仪器型号
MW-8
技术指标
辅助Chuck
无，可以加
Chuck XY行程
250 ㎜
Chuck移动精度、分辨率
±1 um
Chuck一键式快速移动
支持
针座数量
4直流+2 RF
重量
200 kg
Chuck类型
常温、镀金、微孔
尺寸
900 ㎜×850 ㎜×700 ㎜
显微镜
单筒0.7~4.5x，720p
显微镜快速升降
支持
显微镜三轴行程
50 ㎜×50 ㎜×50 ㎜
射频针座
行程：12 mm×12 mm×12 mm千分尺旋钮，分辨率1 um
直流针座
三同轴，千分尺旋钮
重复精度
小于1 um
整体升降
支持：400 um，4 mm，40 mm
Chuck漏电流
100 fA
Chuckθ行程
粗调360°，精调±5°
Chuck Z行程
8 mm