【SEM-FIB专题】：气体辅助离子束沉积

半导体工程师 2023-04-15 07:37 发表于北京尽管气体辅助FIB诱导沉积和传统的离子束辅助沉积（IBAD）是相似的，但有明显不同。一般来说，IBAD是与其他来源一起使用的，如蒸发、溅射、脉冲激光和...

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【SEM-FIB专题】：双束系统与SE/SI成像

半导体工程师 2023-04-12 09:27 发表于北京 1.SEM-FIB简介将SEM和FIB结合成一个系统时，称为双束系统，离子束和电子束被放置在固定的位置，两束之间的角度为45-52°，以达到最佳性能。当两束共...

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半导体工程师 2023-03-19 10:08 发表于北京系统及原理双束聚焦离子束系统可以简单理解为单束聚焦离子束系统与普通SEM的耦合。单束聚焦离子束系统由离子源、离子光学柱、束描画系统、信号采...

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