用于1~8寸晶圆,批次小器件,单个芯片或MEMS等器件电学性能测试。
T-200G
产品描述
用于1~8寸晶圆,批次小器件,单个芯片或MEMS等器件电学性能测试。
产品参数
基本信息
仪器类型
探针台
品牌
成都测芯
产品类别
手动
产品系列
T系列
仪器型号
T-200G
技术指标
辅助Chuck
Chuck XY行程
210 mm
Chuck移动精度、分辨率
±1 um
Chuck一键式快速移动
支持
针座数量
4直流+2 RF
重量
100 kg
Chuck类型
镀镍,微孔
尺寸
735 ㎜×545 ㎜×780 ㎜
显微镜
400倍单筒数码,1080p
显微镜快速升降
支持
显微镜三轴行程
50 ㎜×50 ㎜×100 ㎜
射频针座
直流针座
重复精度
整体升降
支持
Chuck漏电流
100 fA
Chuckθ行程
粗调360°,精调±5°
Chuck Z行程
6 ㎜