适用于4、6、8英寸半导体\集成电路、分立器件晶圆的手动方式探针测试。配备有高可靠性高精度的XYZT四轴载片机构系统,巧妙设计粗微调机构,可快速定位并精密调整芯片位置。
MPS200Q
产品描述
适用于4、6、8英寸半导体\集成电路、分立器件晶圆的手动方式探针测试。配备有高可靠性高精度的XYZT四轴载片机构系统,巧妙设计粗微调机构,可快速定位并精密调整芯片位置。
产品参数
基本信息
仪器类型
探针台
品牌
北京瑞华羽/Micro Probe
产品类别
手动
产品系列
-
仪器型号
MPS200Q
技术指标
辅助Chuck
Chuck XY行程
230 ㎜*270 ㎜
Chuck移动精度、分辨率
±1 um
Chuck一键式快速移动
支持
针座数量
最大6个
重量
110 kg
Chuck类型
常温、铝镀金、微孔
尺寸
800 ㎜×700 ㎜×850 ㎜
显微镜
显微镜快速升降
显微镜三轴行程
150 ㎜×50 ㎜×50 ㎜
射频针座
直流针座
重复精度
整体升降
支持:300 um,3 mm,30 mm
Chuck漏电流
Chuckθ行程
粗调360°,精调±5°
Chuck Z行程
3 mm