大族激光:公司接近式光刻机已投入市场

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36氪获悉,大族激光近期接受调研时称,目前,公司光刻机项目主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化,公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划。
——转自36氪

  • 发表于 2023-02-28 10:02
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