[{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"失效分析 赵工"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-LINK)"},"insert":"半导体工程师"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"2023-08-08 06:21"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"发表于北京"},{"insert":"\n\n在碳化硅半导体的制备过程中，晶圆衬底制造作为占据总成本的40%，是至关重要的一项工艺。在半导体晶圆衬底制造过程中，切割磨抛工序是不可或缺的环节之一,它是将硅晶圆切割成较薄的片状，然后进行研磨和抛光，以获得所需的平整度和表面光洁度。\n"},{"attributes":{"color":"#007aaa","bold":true},"insert":"而在切割磨抛工序中,高性能的研磨抛光材料扮演着至关重要的角色"},{"insert":"。Qual Diamond专业开发和生产用于精密抛光的纳米级/微米级金刚石粉末和金刚石研磨液及悬浮液，在人造金刚石、材料科学和纳米技术方面拥有逾60年的经验。"},{"attributes":{"color":"#ffffff","bold":true},"insert":"01"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"在半导体晶圆衬底抛光工序中，可以分为"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"粗糙抛光/研磨"},{"insert":"、"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"中间抛光"},{"insert":"、"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"最终抛光"},{"insert":"等多个步骤。以下两种关键的材料是不可或缺的。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"1"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"研磨液"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n\n"},{"insert":"研磨液在研磨工序中发挥重要作用。Qual Diamond 公司的研磨液采用最新的 NanoCap ™ 技术，NanoCap ™ 技术是基于量子点表面处理的金刚石颗粒的纳米胶囊和 特殊配方的研磨液基液。优势众多，包括更快的材料去除率 (MMR) ，在工作层表面形成流态工作膜，有效避免划痕，极大的提高产量合格率，保证了优越的表面光洁度。 通过参数定制选项，使 Qual Diamond 的客户可以在不同的光学、金属、高级陶瓷和高级复合材料上的抛光光研磨上实现不同的"},{"attributes":{"color":"#000000"},"insert":"目标和需求。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"color":"#007aaa","bold":true},"insert":"案例分析：用于碳化硅等先进材料的金刚石抛光液"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"与传统的CMP方法相比，Qual Diamond自主研发的金刚石抛光液提供了更高的去除率（它可以将8到24小时的蓝宝石基板抛光时间缩短到14-40分钟），大大减少了处理时间和步骤。抛光后的表面光滑、均匀、干净，没有明显损伤。更重要的是，环保指数高，成本较为低廉，易于使用和清洁。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"insert":{"image":"https://files.eteforum.com/202308/4358793fe775a4dd.jpg"}},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"2"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"抛光垫"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n\n"},{"insert":"QDMD抛光垫是用于针对不同材料最后一步的抛光。QDMD非常柔软，当与金刚石研磨液一起使用时，它的柔软性可最大限度地保护材料表面，从而保证无划痕和划坑，同时它不但可以反复长期使用，而且价格实惠，可以节约大量生产成本。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"QDMD抛光垫现有尺寸(直径英寸) ：8 、9、 10、12、14、16（可以根据客户需求制定尺寸）"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"color":"#007aaa","bold":true},"insert":"案例分享：在碳化硅晶圆抛光中，QDMD和和 Qual Diamond 金刚石研磨液 Dynaqual 80nm的高效配合"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":{"image":"https://files.eteforum.com/202308/37ff6508fdb34812.jpg"}},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"Qual Diamond通过了ISO9001和ISO14001认证并符合其所有要求。从原材料采购到成品生产的每一个环节都由自己控制。此外，Qual Diamond采用欧洲和美国的高精度仪器进行粒度、元素分析和杂质检测，且具有环保和可回收的优点。多年以来，Qual Diamond一直把客户放在首位，力求成为先进行业里一流的金刚石产品制造商和供应商。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"来源：DT半导体"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-0)"},"insert":"半导体工程师"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"半导体经验分享，半导体成果交流，半导体信息发布。半导体行业动态，半导体从业者职业规划，芯片工程师成长历程。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"\n"}]
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发表于 2023-08-08 06:31
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