半导体IC芯片开封方法

[{"attributes":{"color":"var(--weui-LINK)"},"insert":"半导体工程师"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"2023-05-23 08:57"},{"insert":" "},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-2)"},"insert":"发表于北京"},{"insert":"\n\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"芯片开封的目的"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"开封后，我们能清晰看到芯片表面状态，观察芯片划片道是否有崩边、裂纹，观察芯片表面是否存在异常，观察芯片logo信息，测量芯片尺寸和键合线线径，观察键合线材质，观察钝化层的完整性等芯片内部信息。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":{"image":"https://files.eteforum.com/202305/998c08c46546ba92.jpg"}},{"attributes":{"align":"center"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"一般常用的开封方法"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"有化学开封、机械开封、激光开封，Decap实验室可以处理几乎所有的IC封装形式，键合线类型(Au、Cu、Ag、Al)。针对不同的键合线类型有不同的腐蚀方法，聚合物树脂被腐蚀液腐蚀成易溶于丙酮的低分子化合物。在超声波的作用下，低分子化合物被清洗掉，从而暴露出芯片表面。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"Au线腐蚀液：发烟硝酸（工作温度100度）"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"Cu线腐蚀液：发烟硝酸5：硫酸3（工作温度100度）"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"Ag线腐蚀液：发烟硝酸+碘少量，混合成乳白色即可（工作温度100度）"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"Al线腐蚀液：发烟硝酸（IC器件工作温度100度，大功率器件工作温度85度）"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"激光开封"},{"attributes":{"align":"justify","header":3},"insert":"\n"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"激光开封机ADVANCED PST-2000"},{"attributes":{"align":"center"},"insert":"\n"},{"insert":"芯片开封前用X射线透视仪观察晶圆在塑封中的位置并识别键合线类型，在激光开封机上对应芯片晶圆位置，选择合适开封区域（大于晶圆位置即可，开封后要保证有一个凹槽，防止下一步腐蚀液外溢，损伤引脚），选择合适的扫描速度和功率，激光开封机减薄至键合丝出现，待化学开封。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"化学开封"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"insert":"化学开封机"},{"attributes":{"align":"center"},"insert":"\n"},{"insert":"根据键合线类型，将电炉调整合适工作温度，将芯片放在电炉上加热，芯片正面朝上。用吸管吸取少量化学腐蚀液，滴在经激光开封后的凹槽中，树脂表面发生化学反应，出现气泡。反应稍微停止后，再滴一次。连续滴5-10滴后，用镊子夹住，用盛有丙酮的洗瓶将腐蚀的塑封料吹走。芯片放入含丙酮的烧杯中，在超声波机中清洗2-5分钟，然后取出再滴。重复这一步骤，直到芯片完全暴露出来。最后，反复用干净的丙酮清洁，以确保芯片表面没有残留物。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"将所有产品一次放入98%的浓硫酸中煮沸。这种方法更适合样品量大，要求不高，只需要观察芯片表面是否破裂。需要注意的是，操作过程中要注意安全。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"attributes":{"bold":true},"insert":"机械开封"},{"attributes":{"align":"justify","header":3},"insert":"\n"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"针对空封器件，使用机械开封机，将空封器件金属盖剪切下来，或者使用研磨的方法将空封器件金属盖周边磨至接合处（明显看到接缝又没有完全开，如果磨至金属盖全开，可能会有水和其他污染进入空封器件内，这样会污染晶圆表面），然后用手术刀沿着接缝将金属盖划开，注意力度和方向，不要损伤键合线和晶圆表面。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"来源：广东华南检测；内容有修改"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"attributes":{"color":"var(--weui-FG-0)"},"insert":"半导体工程师"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"半导体经验分享，半导体成果交流，半导体信息发布。半导体行业动态，半导体从业者职业规划，芯片工程师成长历程。"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"144篇原创内容"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n"},{"insert":"公众号"},{"attributes":{"align":"justify"},"insert":"\n\n"},{"insert":"\n"}]